INLINE LDI-E15设备特点及优势★精细線(xiàn)路加工专门机型,最小(xiǎo)解析能(néng)力可(kě)达15/15μm,满足mSAP工艺需求★搭配自主的超级算法的DMD控制系统,成就高解析度高效率加工★曝光工序全数字化作业,跨入工业4.0智能(néng)制造